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產(chǎn)品中心光電探測器成像相機Dhyana 9KTDI 高速TDI-sCMOS相機
產(chǎn)品簡介
510 kHz @ 9K256 級TDI180 nm ~ 1100 nm風(fēng)冷／水冷CoaXPress 2.0
Dhyana 9KTDI（簡稱：9KTDI）背照式TDI 相機基于先進(jìn)的sCMOS 背照式減薄和TDI 時間積分技術(shù)，采用可靠穩(wěn)定的制冷封裝技術(shù)，覆蓋從180nm紫外到1100nm近紅外寬光譜，有效提升紫外TDI線掃、弱光掃描檢測能力，旨在為半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測、半導(dǎo)體材料缺陷檢測、基因測序等應(yīng)用提供更高效率、更穩(wěn)定的檢測支持。
Dhyana 9KTDI 采用背照式 sCMOS 技術(shù)，已驗證的響應(yīng)波段可覆蓋180 nm – 1100 nm區(qū)域。256級 TDI技術(shù)可以大幅提升紫外（193nm/266nm/355nm等波段）、可見光、近紅外等弱光成像信噪比，提高設(shè)備檢測精度。
Dhyana 9KTDI搭載CXP-12高速接口，支持1 x CXP-12 / 2 x CXP-12 / 4 x CXP-12靈活配置。 相機行頻最高可達(dá)9K @ 510 kHz，數(shù)據(jù)通量幾乎是目前主流8K線陣相機的6倍，背照式 CCD-TDI 相機的46倍，可大幅提高設(shè)備檢測效率。
相機高速運行時產(chǎn)生的大量熱量，不僅會影響成像質(zhì)量，還會引起測量結(jié)果的波動。鑫圖先進(jìn)水冷和風(fēng)冷技術(shù)，確保相機制冷性能即使長時間運行也能保持穩(wěn)定狀態(tài)，降低設(shè)備誤檢率。
型號:Dhyana 9KTDI
傳感器類型:BSI sCMOS TDI
傳感器型號:Gpixel GLT5009BSI
量子效率:38 % @ 266 nm，51% @ 355 nm，82 % @ 550 nm，38 % @ 800 nm
彩色 / 黑白:黑白
對角線尺寸:45.4 mm
有效面積:45.36 mm x 1.28 mm
分辨率:9072 (H) x 256 (V)
像素尺寸:5 μm x 5 μm
操作模式:TDI, Area
TDI 級數(shù):4, 8, 16, 32, 64, 96, 128, 160, 192, 224, 240, 248, 252, 256
掃描方向:正向，反向，觸發(fā)控制
電荷轉(zhuǎn)移效率:≥ 0.99993
位深:12 bit, 10 bit, 8 bit
滿阱容量:典型值: 15.5 ke- @ 12 bit, 14 ke- @ 10 bit
動態(tài)范圍:典型值：68.7 dB @ 12 bit, 63.6 dB @ 10 bit
最大線速:299 kHZ @ 12 bit, 345 kHZ @ 10 bit, 510 kHZ @ 8 bit
讀出噪聲:典型值：7.2 e- @ 12 bit, 11.4 e- @ 10 bit
暗信號不均勻性:典型值：1.5 e- @ 12 bit, 3.5 e- @ 10 bit
光響應(yīng)不均勻性:典型值：0.30%
制冷方式:風(fēng)冷，水冷，制冷速度 5 ℃ / min
制冷溫度:低于環(huán)境溫度 35 ℃（水冷）
Binning:1 × 1, 2 x 2, 4 x 4, 8 x 8
ROI:支持
觸發(fā)模式:觸發(fā)輸入, 掃描方向輸入
觸發(fā)輸出信號:Strobe out
觸發(fā)接口:Hirose, HR10A-7R-4S
時間戳精度:8 ns
模擬增益:x2 ~ x8, 步進(jìn) 0.5
數(shù)字增益:x0.5 ~ x10，步進(jìn) 1
數(shù)據(jù)接口:CoaxPress 2.0 ( CXP-12 )
光學(xué)接口:M72 / 用戶可定制
電源:12 V / 8 A
功耗:< 60 W
相機尺寸:86 mm x 86 mm x 109 mm
重量:1100 g
軟件:SamplePro
SDK:C, C++，C#，Python
操作系統(tǒng):Windows, Linux
操作環(huán)境:工作溫度：溫度 0~40 °C, 濕度 0~85%
儲藏溫度：溫度 0~60 °C, 濕度 0~90 %
公司郵箱： qgao@buybm.com
服務(wù)熱線： 021-33897997
公司地址： 上海市浦東新區(qū)周康路26號E棟408
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